• 动态计量 - 在测量传感器或被测单元运动时收集测量数据的应用

• 静态计量 - 在测量传感器和被测单元都处于稳定位置时收集测量数据的应用

• 聚焦 - 一种特殊类型的静态测量，其中轴（通常是垂直的）用于聚焦在样品上进行测量

动态计量

静态计量需要良好的速度和轮廓控制，而动态应用需要稳定和稳定性控制。动态计量应用越来越多地与高科技市场中基于激光的光谱测定和应用相关联。半导体和电子制造业几乎在所有工艺中都使用线扫描，而进行高内容通量细胞分析或DNA /基因测序的生命科学仪器也是动态的。精密激光切割也是一种动态应用。由于执行器在进行测量时处于运动状态，因此关键规格与其运动性能有关，包括：

• 定位误差通常根据定位精度和定位的可重复性来规定。这些错误的实际来源可能出现在三个子类别中 - 线性，阿贝（滚动，俯仰，偏航）和平面误差。这些错误的来源各不相同，可能在生产过程中或应用程序正在进行时发生。例子包括偏转，摩擦，轴承和加工不一致以及反馈装置。

• 速度控制与舞台运动的速度和控制它的能力有关。当与命令速度相比存在速度变化时，这被称为速度波动。速度控制对于动态计量应用至关重要，因为如果在整个应用过程中速度变化，则无法始终获得准确且一致的结果。

对于要求高精度和高速度的动态测量应用而言，最佳执行器选项是线性电机驱动级，特别是带有无铁心直线电机的级。由于线性马达直接耦合到线性负载，因此与螺钉或皮带驱动的致动器相比，齿隙，效率损失和其他位置不准确性大大降低。而且，线性电动机通常具有较小的形状因数，总体上将改善刚度和位置误差。最后，线性电机执行器在整个应用中可以最好地控制其速度。

在保持合理的商业成本的同时，线性电机执行器是唯一能够满足前面讨论的动态计量应用的关键规格的执行器。为了证实这一点，派克使用激光干涉仪测量任何潜在的位置误差。在测试之后，生成关于执行器性能的报告，其始终显示线性马达致动器优于具有其他传动系机构的致动器。

派克计量应用解决方案

线性电机执行器的级稳定性和速度控制对于成功的动态计量应用至关重要。Parker在高科技精密市场拥有20多年的经验，提供专业知识和咨询服务，帮助仪器开发人员优化设备和工艺的精确度。这些流程优化将有助于持续降低客户的总体支出，同时提高吞吐量。